柔性傳感器技術(shù)是極具挑戰(zhàn)和潛力的發(fā)展方向,在人工智能、醫(yī)療健康等領(lǐng)域有著廣闊的發(fā)展前景。隨著人機交互、運動健康監(jiān)控等細分領(lǐng)域的快速發(fā)展,相關(guān)產(chǎn)品對傳感器提出了更高的要求,迫切需要具有柔韌、可彎曲、可拉伸、可回復(fù)特性的彈性傳感技術(shù),以滿足人體穿戴舒適性的需求。研究人員依托中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所、中科院磁性材料與器件重點實驗室,針對上述需求,聚焦信息感知關(guān)鍵彈性傳感器和信息傳輸關(guān)鍵彈性導(dǎo)體的研發(fā)。
1、發(fā)展兼容高電導(dǎo)率和拉伸穩(wěn)定性的彈性導(dǎo)體
復(fù)合型導(dǎo)高分子是在高分子基體中填加導(dǎo)電性物質(zhì)(碳黑、碳納米管、石墨烯、金屬粉、金屬納米線和納米片等),通過分散復(fù)合、層積復(fù)合等方式得到的。由于它保持了高分子材料優(yōu)異的柔彈性,是目前柔性電子元器件最為理想的電極材料。但由于導(dǎo)電填料為固體,與基體的彈性模量相差很大(3~7 個量級),拉伸時導(dǎo)電填料的間距會發(fā)生變化,造成電極的電阻率明顯變化,影響器件性能。為了解決該問題,研究團隊采用易形變且導(dǎo)電性好的液態(tài)金屬鎵銦錫(Galinstan)作為導(dǎo)電填料,與PDMS分散復(fù)合制備了彈性電極。該電極不僅具有良好的導(dǎo)電性()和大的拉伸極限(~116.86%),更為重要的是,該電極具有極其穩(wěn)定的機械性能,拉伸100%時電阻的相對變化率僅為4.305%,其指標達到國際領(lǐng)先水平。
2、發(fā)展彈性肌電傳感器
表面肌電信號(SEMG)是一種伴隨肌肉活動出現(xiàn)的微弱生物電信號,在臨床醫(yī)學(xué)、人機功效學(xué)、康復(fù)醫(yī)學(xué)以及體育科學(xué)等方面均有重要的實用價值。SEMG在測量上具有非侵入性、無創(chuàng)傷、操作簡單等優(yōu)點,但信號易受電極影響,因此選擇合適的電極顯得尤為重要。目前,商業(yè)化的肌電電極主要為凝膠電極和金屬電極。凝膠電極與皮膚貼合性好,但凝膠中的水分易揮發(fā),時間穩(wěn)定性差,且易造成皮膚過敏,不能重復(fù)使用;金屬電極導(dǎo)電性好,但與皮膚的貼合性差,大幅度運動易滑動,導(dǎo)致信號的動態(tài)穩(wěn)定性較差,且易擦傷皮膚。研究人員利用研發(fā)的三層結(jié)構(gòu)超薄彈性電極作為肌電電極,該電極的阻抗在工作頻率范圍內(nèi)(20~400Hz)與凝膠電極和金屬電極相當,但又克服了凝膠電極時間穩(wěn)定性差,以及金屬電極動態(tài)穩(wěn)定性較差的難題。將三層結(jié)構(gòu)的彈性電極用于測量腿部腓腸肌外側(cè)頭肌肉走動時的信號,并與傳統(tǒng)銅電極進行對比,可以明顯看出,采用三層結(jié)構(gòu)超薄彈性電極測得的肌電信號強了約一個數(shù)量級,顯示出了較廣闊的應(yīng)用前景。
3、發(fā)展柔性/彈性電路、高精度和可拉伸的應(yīng)變傳感器
基于液態(tài)金屬導(dǎo)線,研究人員發(fā)展了可回收紙基柔性電路,其電導(dǎo)率達10000S/cm,彎折循環(huán)大于1萬次,復(fù)合熱導(dǎo)率是紙的2-3倍,提升了散熱性能,回收率達90%每分鐘,進一步發(fā)展了紙基LED顯示等演示電路?;趶椥詫?dǎo)體,發(fā)展了彈性耳機線、彈性充電線等。
利用高靈敏的巨磁阻抗效應(yīng),研究人員采用LC振蕩電路結(jié)構(gòu),獲得了具有數(shù)字式脈沖輸出的高靈敏柔性壓力傳感器,探測極限10μN,可以感知螞蟻的爬行;首次在低壓力探測范圍同時實現(xiàn)了微應(yīng)力感知與數(shù)字信號輸出;發(fā)展了兼容高精度和拉伸性的彈性應(yīng)力傳感器,其拉伸范圍大于100%,探測精度~0.05%,且具有優(yōu)異的回復(fù)特性。
4、發(fā)展人機交互用的運動監(jiān)控演示產(chǎn)品
研究人員發(fā)展了智能手套,用于手勢的識別,并實現(xiàn)了手勢對機械手的遠程操控;發(fā)展了用于膝關(guān)節(jié)運動監(jiān)控的智能護膝,實現(xiàn)了跑步、登山等動作下關(guān)節(jié)運動的監(jiān)控。
研究人員在材料、器件、方法、設(shè)備上進行了專利布局,已經(jīng)申請專利30項(詳情參見專利推介部分),其中發(fā)明專利23項,已授權(quán)14項,實用新型專利授權(quán)7項。獲得寧波鄞州精英引領(lǐng)計劃支持以及寧波鎮(zhèn)海-中科院青促會創(chuàng)業(yè)大賽一等獎等榮譽。